東南大學物理學院光刻工藝實驗儀采購招標公告

一、項目基本情況

項目名稱：東南大學物理學院光刻工藝實驗儀采購

預算金額：27.500000 萬元（人民幣）

采購需求：

物理學院采購光刻工藝實驗儀5套，用于進行光刻工藝實驗教學，擁有涂膠，烘烤，光刻，顯影等功能，并可以制備標準分辨率片，光柵片，菲涅爾透鏡片，以及進行光柵常數(shù)的測量與演示。主要技術要求如下；

①一體式工作機臺：包含涂膠，烘烤，光刻，顯影，光刻效果高倍顯微視覺檢查和光柵常數(shù)測量功能；

②光刻精度3~5μm；

③涂膠系統(tǒng)：轉速可調。軟件控制轉盤具備勻膠和甩膠2個轉速，勻膠500-1000轉/分鐘，1-60秒可設。 甩膠轉速1000-5000轉/分可調，1-300秒可設；

④烘烤系統(tǒng)：烤盤采用p2材質，直徑95mm，可加熱溫度40℃ - 120℃，可恒溫保持，具有烘烤計時功能，具有安全自關閉功能。

合同履行期限：詳見采購文件

本項目( 不接受  )聯(lián)合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

專門面向中小企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性單位采購的項目。

3.本項目的特定資格要求：（1）具有獨立承擔民事責任的能力（提供法人或者其他組織的營業(yè)執(zhí)照復印件）。（2）投標供應商須提供法定代表人授權書原件、法定代表人身份證復印件、授權代表身份證復印件和授權代表在公司內近3個月內的社保繳納證明（如果是法定代表人直接參與投標的可以不提供授權書）。

三、獲取招標文件

：2025年07月30  至 2025年08月05，每天9:00至11:30，13:30至17:00。（北京，法定節(jié)假日除外）

售價：￥400.0 元，本公告包含的招標文件售價總和

四、提交投標文件截止、開標

提交投標文件截止：2025年08月19 09點30分（北京）

開標：2025年08月19 09點30分（北京）

注：有意向的投標人發(fā)送郵件（項目名稱+公司名稱+聯(lián)系人方式）獲取登記表。

   聯(lián)系人：張 明    

   電話：136 1121 9639

   郵箱：hezuozhaobiao@163.com