東南大學(xué)物理學(xué)院光刻工藝實(shí)驗(yàn)儀采購(gòu)招標(biāo)公告

一、項(xiàng)目基本情況

項(xiàng)目名稱：東南大學(xué)物理學(xué)院光刻工藝實(shí)驗(yàn)儀采購(gòu)

預(yù)算金額：27.500000 萬元（人民幣）

采購(gòu)需求：

物理學(xué)院采購(gòu)光刻工藝實(shí)驗(yàn)儀5套，用于進(jìn)行光刻工藝實(shí)驗(yàn)教學(xué)，擁有涂膠，烘烤，光刻，顯影等功能，并可以制備標(biāo)準(zhǔn)分辨率片，光柵片，菲涅爾透鏡片，以及進(jìn)行光柵常數(shù)的測(cè)量與演示。主要技術(shù)要求如下；

①一體式工作機(jī)臺(tái)：包含涂膠，烘烤，光刻，顯影，光刻效果高倍顯微視覺檢查和光柵常數(shù)測(cè)量功能；

②光刻精度3~5μm；

③涂膠系統(tǒng)：轉(zhuǎn)速可調(diào)。軟件控制轉(zhuǎn)盤具備勻膠和甩膠2個(gè)轉(zhuǎn)速，勻膠500-1000轉(zhuǎn)/分鐘，1-60秒可設(shè)。 甩膠轉(zhuǎn)速1000-5000轉(zhuǎn)/分可調(diào)，1-300秒可設(shè)；

④烘烤系統(tǒng)：烤盤采用p2材質(zhì)，直徑95mm，可加熱溫度40℃ - 120℃，可恒溫保持，具有烘烤計(jì)時(shí)功能，具有安全自關(guān)閉功能。

合同履行期限：詳見采購(gòu)文件

本項(xiàng)目( 不接受  )聯(lián)合體投標(biāo)。

二、申請(qǐng)人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定；

2.落實(shí)政府采購(gòu)政策需滿足的資格要求：

專門面向中小企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性單位采購(gòu)的項(xiàng)目。

3.本項(xiàng)目的特定資格要求：（1）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力（提供法人或者其他組織的營(yíng)業(yè)執(zhí)照復(fù)印件）。（2）投標(biāo)供應(yīng)商須提供法定代表人授權(quán)書原件、法定代表人身份證復(fù)印件、授權(quán)代表身份證復(fù)印件和授權(quán)代表在公司內(nèi)近3個(gè)月內(nèi)的社保繳納證明（如果是法定代表人直接參與投標(biāo)的可以不提供授權(quán)書）。

三、獲取招標(biāo)文件

時(shí)間：2025年07月30日  至 2025年08月05日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）

售價(jià)：￥400.0 元，本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和

四、提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間

提交投標(biāo)文件截止時(shí)間：2025年08月19日 09點(diǎn)30分（北京時(shí)間）

開標(biāo)時(shí)間：2025年08月19日 09點(diǎn)30分（北京時(shí)間）

注：有意向的投標(biāo)人發(fā)送郵件（項(xiàng)目名稱+公司名稱+聯(lián)系人方式）獲取登記表。

   聯(lián)系人：張 明    

   電話：136 1121 9639

   郵箱：hezuozhaobiao@163.com